平成18年度第1回 ナノ組織損傷評価研究会
日時：
２００７年２月２６日（月）
場所：
SPring-8
目的：
２００６年度放射光利用研究成果報告と討論
プログラム（仮題）：
HfO
x
膜構成原子の化学結合状態とバンドギャップ解析
三浦英生
HfO
x
膜のNBO酸化
生駒亨
NBO酸化膜の結晶構造と基板界面近傍のサブオキサイド解析
寒川誠二
SiO
x
膜の化学結合状態とバンドギャップ解析
鈴木研
SiO
x
膜のプラズマ損傷評価
久保田智広