大型放射光施設 SPring-8

問い合わせ番号

INS-0000000444

薄膜構造評価用X線回折装置(ATX-GSOR)

  薄膜構造評価用X線回折装置(リガク製　ATX-G)をBL13XUの第1ハッチに設置している。試料は垂直置きで直交スイベル,x,y移動を備えている。測定は、反射率測定、in-plane測定、out of plane測定などが可能である。試料周りはω軸(分解能：0.0001deg/step 回転範囲：-10～190°),試料面鉛直軸周りのφ軸(分解能：0.001deg/step 回転範囲：-170～185°),検出器アームは、2θ軸(分解能：0.0002deg/step 回転範囲：-3～158°)、2θχ軸(分解能：0.001deg/step 回転範囲：-3～150°)を備える。試料は最大100mmのウェハが保持でき自動半割調整プログラムが備えられ迅速なサンプルアライメントが可能である。直径約200mm、厚み約50umのカプトンドームを用いたHeガス置換型サンプルホルダーを用意している。受光側にはソーラスリット、ダブルスリット、Si(220)アナライザーを準備している。検出器はシンチレーションカウンタを用いる。

Figure Grazing incidence in-plane diffractometer (Rigaku ATX-GSOR) in experimental hutch 1

• Table 1. Smallest angular steps for the axes of the grazing incidence in-plane diffractometer (Rigaku ATX-GSOR)

  Axis	Step [moving range (Minimum -- Maximum)]
  ω	0.0001(deg/step) [-10 -- 190(deg)]
  φ	0.01(deg/step) [-170 -- 185(deg)]
  2θ	0.0002(deg/step) [-3 -- 158(deg)]
  2θχ	0.001(deg/step) [-3 -- 150(deg)]