BL47XU 実験ハッチ２（ＥＨ２）
問い合わせ番号
INS-0000001379
実験ハッチ２内には、上流側にマイクロトモグラフィー実験装置、下流側にマイクロビーム実験装置が設置されています。さらにこれらの装置に於いては、ステッピングモーター制御の精密ＸＹＺステージ、精密ゴニオメーター、４象限スリット、シリコンドリフト検出器（SDD）、純Ge半導体検出器、NaIシンチレーションカウンタ、イオンチェンバー、高分解能二次元検出器（間接型CCDカメラ：画素サイズ6ミクロン、及び0.5ミクロン）を組み合わせて使用することが出来ます。
なお、現在実験ハッチ２の下流側には通常硬Ｘ線光電子分光装置が置かれており、マイクロビームと走査型顕微鏡の実験を行う場合には、装置を実家ハッチ１に設置して実験を行っています。
- マイクロトモグラフィー実験装置
実験ハッチ２の上流側のスペースには通常図１に示す高分解能マイクロトモグラフィー装置が設置されています。本装置では、空気浮上軸受けを用いた精密回転ステージにより軸ぶれ0.2ミクロン以下を実現し、空間分解能1ミクロンを達成した可視光変換型画像検出器（ビームモニタ３型）と組み合わせることによって、 空間分解能１ミクロンの三次元ＣＴ画像計測を可能にしました。分解能１ミクロンの条件での最大視野は１mm、一回のＣＴ像計測に要する時間は2〜3時間です。
- マイクロビーム実験装置（走査型顕微鏡装置）
図２にマイクロビーム実験装置を示します。フレネルゾーンプレートを集光光学素子として用いることにより、Ｘ線エネルギー7keV 〜15keVの領域でサブミクロン分解能での実験がルーチンワークで可能です。この場合、顕微鏡としての焦点深度は約1mmです。なお、この条件でのマイクロビームのフラックスはおおよそ 109 photons/s です。蛍光Ｘ線分光が必要な場合、シリコンドリフト検出器 (SDD) 及びGe半導体検出器が利用できます。i
図１．マイクロトモグラフィー実験装置
図２．マイクロビーム/走査型顕微鏡実験装置
