大型放射光施設 SPring-8

問い合わせ番号

INS-0000000438

　実験ハッチ3には、ワイドギャップ半導体として知られる窒化物半導体をMBE成長しながらX線回折測定ができる「表面X線回折計」が設置されています。MBE装置は、チェンバの一部が入射X線と出射X線用にBe窓でできている他は標準的な構成であり、RHEEDも付属しています。窒素源としてRFプラズマソース、金属源としてはAl、In、Ga、Si、Mgソースが利用できます。表面X線回折計は4軸で試料（Sample）を回転し、2軸でX線検出器（Detector）の位置を調整するいわゆる4S+2D型です。２次元検出器として、数msの高速データ読み出しができるハイブリット型ピクセル検出器が利用されています。放射光X線と２次元検出器を利用することで、これまでに時間分解能が秒オーダーの高速の逆格子マッピングを実現し、原子層レベルで結晶成長の素過程が追跡できるようになっています。また、試料構造は薄膜だけでなく、量子ドットや量子細線などのナノ構造のその場測定にも利用されています。

表面X線回折計