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BL11XU 表面X線回折計

Inquiry number

INS-0000000438

 実験ハッチ3には、MBEチェンバと結合した表面X線回折計が設置されています。本装置はIII-V族半導体の表面構造研究や多層膜またはナノ構造の成長ダイナミクス研究に利用されています。III-V族半導体として、GaAs等の砒化物半導体またはGaN等の窒化物半導体のその場測定が可能です。回折計は4+2軸で、試料の位置調整のための4軸と検出器の位置調整のための2軸により構成され、φテーブル上には、試料表面が回転軸の中心に位置するようにxyzステージが載っています。チェンバに溶接されたBe窓によって、入射角および取り出し角は試料表面から45度まで、面内の散乱角は120度まで測定することが可能です。

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