問い合わせ番号

INS-0000001638

回折計測汎用フレーム

  回折計測汎用フレームは、プロセス中の材料のその場観察や、デバイス動作中のオペランド測定などのために特別に設計されたX線回折装置です。試料周辺のスペースを最大限に確保することを目的として設計されており、従来の回折計では制限のあった大型の試料環境装置の設置が可能になります。これにより、研究室の実験機器との共通化、製造プロセスの再現装置の搭載など、装置に制限されない新しい回折実験を実現します。
  本装置は、ヘキサポッド付き試料ステージと検出器保持用ロボットアームを組み合わせた構造になっています。試料ステージは、回転ステージとヘキサポッドにより、試料環境装置ごと試料の方位を制御することが可能です。また、ロボットアームには二次元検出器を設置し、回折線を測定することで逆格子空間の分布を測定できます。
  本装置は、施設側が用意する試料装置の他、ユーザーの持ち込み試料装置を搭載して実験を行うことが可能です。装置持ち込みを希望される方は、課題申請の前に担当者までご連絡ください。

図. 回折計測汎用フレーム

◆装置の特徴

・ヘキサポッド付き試料ステージ
試料ステージは、ステージ位置アライメント用のXZステージ、および試料位置調整用の回転ステージ（Huber 430）、ヘキサポッド（PI H-850）で構成されています。回転ステージは鉛直軸周りに360度回転が可能です。またヘキサポッドは、X,Y,Z,θx,θy,θzの自由度を持ち、試料の並進位置と角度を制御します。試料および試料環境装置はヘキサポッド上に設置されます。

・検出器保持用ロボットアーム
本装置の検出器は、ロボットアーム（Staubli TX2-160L）に取り付けられます。このロボットアームは、6つの可動軸で駆動し、25 kgの耐荷重と±0.05 mm以下の繰り返し位置再現性をもちます。これを用いて検出器位置を制御することにより、カメラ長0.1 ∼ 1 mにおいて、ダイレクトビームから鉛直方向に+60度、水平方向に±60度の角度の回折線を測定できます。

・検出器
検出器には、Dectoris社のPILATUS 300KおよびPILATUS 2Mを整備しています。PILATUS 300Kはロボットアームに搭載でき、目的の回折線の方向に移動して測定を行えます。PILATUS 2Mは、試料下流側の設置台に固定され、広い範囲の回折パターンを測定する場合や、低角に現れる散乱の測定に用いられます。

◆問い合わせ先

隅谷 和嗣 (sumitani@spring8.or.jp)