問い合わせ番号

INS-0000001656

高エネルギーラミノグラフィ装置

分厚い板状試料の3Dイメージングが可能な単純投影型マイクロラミノグラフィ装置が実験ハッチ１に整備されている。試料回転軸の傾斜角は30°である。X線検出器は間接撮像型のレンズカップリング型X線画像検出器^[1]で、高解像度（HR）タイプと大視野（LFOV）タイプの2種類が用意されており、これらを切り替えて使用する。試料・検出器間距離はそれぞれ試料から100 mm及び200 mmである。

[1] T. Kameshima et al., Opt. Lett. 44, 1403 (2019)

X線検出器

間接型X線画像検出器のシンチレータはLuAG:Ceで、厚さはHRタイプ及びLVOVタイプでそれぞれ5 µm及び15 µmである。シンチレータ上の像は順にAlミラー・対物レンズ・結像レンズを通してCMOSイメージセンサ上に結像される。対物レンズの倍率はHRタイプ及びLVOVタイプでそれぞれ20倍及び5倍である。イメージセンサのピクセルサイズ及び解像度は5.48 x 5.48 µm 及び 2,660 x 2,300である。従って、HRタイプの実効ピクセルサイズ及び視野は 0.274 x 0.274 µm 及び 712.4 x 630.2 µmである。LFOVタイプの視野はビームサイズで制限されるもののX線画像検出器自体の実効ピクセルサイズ及び視野は1.096 x 1.096 µm 及び 2,915 x 2,521 µmである。

計測及び再構成

試料360°回転に対して3,600枚のX線画像が⾃動的に収録される。得られたX線画像はGPU計算機に転送され、再構成パラメータ探索⽤のシングルレイヤ再構成は10分程で可能である。条件が決まれば20〜30分程で3D再構成が可能である。

問い合わせ

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林　雄二郎
理化学研究所　放射光科研究センター
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