BL16B2 ハイスループットX線トポグラフィ装置
問い合わせ番号
INS-0000001666
ハイスループットX線トポグラフィ装置は直径300 mmのウェハを設置可能な試料台、ウェハ面内を±100 mm走査可能なXYステージ、およびデジタルX線カメラを有していることが特徴の回折計である。試料ステージには大開口が設けられており、透過配置での測定も可能である。試料を走査しながらデジタルX線カメラでX線トポグラフ像を自動的に取得することで広い範囲を高分解能で観察することが可能であり、従来のX線フィルムや原子核乾板を用いた観察と同等の画質のX線トポグラフ像を現像作業無しで且つ定量的なX線強度で得ることができる。
Fig1. High-throughput X-ray topography system. Schematic and table of motorized stages.
Table1. DIFRAS detectors.
| Type | Pixel size [µm /pixel] | Field of view [mm] | Magnification | Scintillator | Camera | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| DIFRAS detector 1 | High-resolution | 0.72 | 10.0 × 7.7 | 5.2 | LuAG:Ce(15 µm)/LuAG(1 mm) | SONY IMX411 14,192 × 10,640 3.76 µm /pixel |
| DIFRAS detector 2 | Wide-field | 3.8 | 53 × 40 | 1.0 | LuAG:Ce(250 µm) |
最終変更日
2025-06-26 10:47