研究分野別　目次
支援テーマ別　目次

1.エレクトロニクス
　 情報ストレージ

2.新規物質、表面・ナノ
　 結晶・ナノサイズ効果

3.エネルギー材料

4.環境関連物質評価

5.基盤技術開発
5 基盤技術開発
5.1　ナノ構造イメージング等
Fe/Cu(001) 表面の原子配列立体写真 ゲート絶縁膜/シリコン界面遷移層の検出311KB
大門　寛　　　　　　 奈良先端科学技術大学院大学　物質創生科学研究科
蛍光X線ホログラフィーによるSiGeバルク結晶の構造評価 ゲート絶縁膜/シリコン界面遷移層の検出239KB
林　好一　 　 　　　 東北大学　金属材料研究所
異常散乱現象を利用した蛍光Ｘ線ホログラフィー技術の開発 ゲート絶縁膜/シリコン界面遷移層の検出329KB
松原　英一郎　　　 東北大学　金属材料研究所
走査型蛍光Ｘ線顕微鏡による100nm元素分析 ゲート絶縁膜/シリコン界面遷移層の検出167KB
青木　貞雄　 　　　 筑波大学　物理工学系
5.2　ナノレベル深さ元素分析
X線マイクロビームを用いるナノメーターレベルでの深さ方向分析 ゲート絶縁膜/シリコン界面遷移層の検出228KB
辻　幸一　　　　　　 大阪市立大学大学院　工学研究科
5.3　分子操作、原子励起
エネルギー分解したSi:1s光電子−光イオン同時計数法を用いた原子分子操作の研究 ゲート絶縁膜/シリコン界面遷移層の検出200KB
長岡　伸一 　　　　 愛媛大学　理学部
希ガス多価イオンの高エネルギー内殻電子励起分光によるプラズマ励起素過程の研究 ゲート絶縁膜/シリコン界面遷移層の検出223KB
大浦　正樹　　　 　 理化学研究所　播磨研究所
新規温室効果ガスSF5CF3のナノメートル・スケール「分子メス」による分解操作の研究 ゲート絶縁膜/シリコン界面遷移層の検出256KB
伊吹　紀男　　　 　 京都教育大学　教育学部
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