大型放射光施設 SPring-8

問い合わせ番号

INS-0000000406

転換電子収量（CEY)検出器

  転換電子収量（Conversion electron yield, CEY）検出器は、主に目的元素の濃度が高い薄膜試料のXAFS測定に用いられます。CEY法は蛍光法に比べ、検出効率が高いという利点を持っています。CEY検出器には、試料台をステッピングモーターで連続的に面内回転する機構が搭載されており、試料または基板が単結晶の場合に発生する回折によるスパイクノイズを除去することができます。

斜入射配置用θ-2θに設置したCEY検出器。

試料台に試料をマウントした様子。

シリコン基板上の1 nm Ag薄膜のAg K吸収端XAFSスペクトル。測定温度：室温[1]。

単結晶サファイア基板上の(Ba,Sr)TiO₃薄膜のSr K吸収端XAFSスペクトル[2]。試料台の連続回転により、サファイア基板の回折によるスパイクノイズ（矢印）が除去されている。

参考文献

1. Y. Suzuki, T. Miyanaga, K. Kita, R. Maruko, T. Uruga and I. Watanabe, SPring-8 User Report 7, 6 (2001).
2. T. Uruga, H. Tanida and K. Yasukawa, unpublished result.