C60FET薄膜における構造物性研究
Inquiry number
SOL-0000001274
Beamline
BL02B2 (Powder Diffraction)
Scientific keywords
| A. Sample category | organic material |
|---|---|
| B. Sample category (detail) | semiconductor, solid-state crystal, organic material, crystal, membrane |
| C. Technique | X-ray diffraction |
| D. Technique (detail) | powder diffraction |
| E. Particular condition | surface, room temperature |
| F. Photon energy | X-ray (4-40 keV) |
| G. Target information | structure analysis, crystal structure, function and structure |
Industrial keywords
| level 1---Application area | Semiconductor, display |
|---|---|
| level 2---Target | LCD |
| level 3---Target (detail) | TFT |
| level 4---Obtainable information | orientation (preferred orientation), crystallinity |
| level 5---Technique | diffraction |
Classification
A80.12 semiconductor, M10.20 powder diffraction
Body text
粉末回折法は 結晶構造を調べることのできる強力な手法です。この手法を用いることで、結晶性物質の 原子位置、格子定数などを測定することができます。また、放射光を用いることにより、構造パラメータだけではなく結合状態や価数といった物性の発現と密接に関連した電子密度レベルでの構造を明らかにすることも可能です。図に示すのは、C60FET薄膜について低視斜角入射により測定した回折データです。このデータを解析した結果得られた結晶配向性と粒径サイズから、FETの特性と構造との相関がわかりました。
図 C60FET薄膜の低視斜角回折パターン
[ H. Ohashi, K. Tanigaki, S. Kimura, R. Kumashiro, K. Kato and M. Takata, Applied Physics Letters 84, 520-522 (2004), Fig. 1,
©2004 American Institute of Physics ]
Source of the figure
Beamline Report
Page
61
Technique
放射光を用いた粉末回折法は、結晶構造を調べられる強力な測定方法です。この方法は、低視斜角入射による薄膜測定にも適用でき、薄膜の配向性や結晶の粒径に関する情報を得ることができます。
図 大型デバイシェラーカメラの模式図（左）と写真（右）
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Presentation material for Beamline Report
Required time for experimental setup
1 shift(s)
Instruments
| Instrument | Purpose | Performance |
|---|---|---|
| 大型デバイシェラーカメラ | 粉末結晶構造解析 | カメラ半径：286.48mm, 温度：15-1000K |
References
| Document name |
|---|
| H. Ohashi et al., Applied Physics Letters, 84 (2004) 520. |
Related experimental techniques
単結晶構造解析
Questionnaire
This solution is an application of a main instrument of the beamline.
Ease of measurement
Middle
Ease of analysis
Middle
How many shifts were needed for taking whole data in the figure?
Two-three shifts