問い合わせ番号

INS-0000000456

ビームラインの概要

 BL16XUはアンジュレータを光源としたビームラインである。6～72 keVの広範なエネルギー領域で高輝度X線が利用できる。実験ハッチ内にHUBER社製多目的6軸X線回折計が設置されており、共用利用が可能である。本回折計では学術・産業界ユーザーのX線回折・散乱を用いた分析に対する多様なニーズに対応することを目的として整備されている。そのターゲットは、薄膜、バルク材料、実用材料の構造解析をはじめ、残留歪み解析や様々なin-situ X線回折など、多岐に広がっている。

研究分野

• 多目的6軸X線回折計を用いた各種X線回折・散乱測定
• 薄膜、バルク試料などの材料構造解析
• in-situ/operando環境下でのX線回折
• 高エネルギーX線回折

キーワード

• 分野
  金属材料、無機/有機材料、薄膜、エレクトロニクス
• 装置・測定
  多目的6軸X線回折計、X線回折・散乱、薄膜X線回折、X線反射率測定、加熱中その場観察、引張その場観察、様々なその場X線回折測定

光源と光学系

 光源は周期長40 mm、周期数112の真空封止水平直線偏光X線アンジュレータである。並進切替可能なSi111あるいはSi311反射を用いた2結晶分光器により、6 keVから72 keVの領域のＸ線が利用可能である。2結晶分光器下流側に垂直偏向のベンドシリンドリカルミラーが設置されており、高調波除去と同時に垂直方向・水平方向の集光が可能である。

• 表１．Ｘ線ビームの特徴（X線回折計試料位置）

  Energy Range	6〜72 keV
  Energy Resolution	ΔE/E ~10-4
  Photon Flux	~ 1012 ph/s @12.4 keV
  Beam Size	~ 0.5 mm(H) × 0.5 mm(V)

  

  図1. BL16XUの機器配置図

実験ステーション

• 多目的6軸X線回折計

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連絡先

（注）e-mailアドレスは＠マーク以下を省略していますので、アカウントの後に@spring8.or.jpを付けてください。

小金澤 智之
（公財）高輝度光科学研究センター(JASRI)
〒679-5198　兵庫県佐用郡佐用町光都1丁目1-1 
Phone : 0791-58-0924
FAX : 0791-58-0830
e-mail : koganeza