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BL16XU 概要

問い合わせ番号

INS-0000000456

ビームラインの概要

  BL16XUビームラインは,13企業グループで構成する「産業用専用ビームライン建設利用共同体」が,各社の材料・デバイス開発に資する目的でBL16B2ビームラインと併せて設置しました。主な活用分野は,(1)蛍光X線分析法によるSiウエハ表面などの極微量元素分析,(2)X線回折によるnm厚さの薄膜構造解析,(3)1μm以下の集光X線ビームを用いた材料・デバイスの微小部分析とイメージング,(4)左右円偏光X線を用いたXMCD測定による磁性材料の磁化解析等です。

研究分野

  • ULSI,磁気・光記録および画像デバイス用薄膜材料,二次電池,燃料電池,触媒材料,機能性材料,構造材料などの評価・解析

キーワード

  • 測定手法
    蛍光X線分析(斜入射法,直入射法),X線回折(in plane及びout of plane配置),X線反射率,微小角入射X線散乱,微小部分析及びイメージング(回折法,蛍光法,透過法),磁気円二色性及び磁気ヒステリシス測定
  • 装置
    蛍光X線分析装置,X線回折装置,X線マイクロビーム顕微装置,磁気円二色性測定装置

光源と光学系

  • X線ビームの特徴(試料位置)

    Energy Range 4.5~40 keV
    Energy Resolution ΔE/E~ 10-4
    Photon Flux ~ 1012 (normal)
    ~ 1010 (focusing)
    Beam Size < 1(H) × 1(V)(normal)
    < 1 μm(H)×1 μm(V)(focusing)

    ビームライン全体配置図

    BL16XUおよび BL16B2ビームライン俯瞰写真

実験ステーション

蛍光X線分析装置,X線回折装置,X線マイクロビーム顕微装置を上流側から順次配置。磁気円二色性測定装置はX線回折装置又はX線マイクロビーム顕微装置に組み込んで使用。

  • 蛍光X線分析装置(図1)
    • 試料室は真空 (~10 Pa),ヘリウムガス置換可能
    • 波長分散型検出器 (アナライザ結晶),エネルギー分散型検出器 (SDD, SSD)

      図1蛍光X線分析装置

  • X線回折装置(図2)
    • 四軸回折計 (X線回折,X線反射率,微小角入射X線散乱)
    • NaI(Tl)シンチレーション検出器,YAP(Ce)シンチレーション検出器,CCDカメラ

      図2X線回折装置

  • X線マイクロビーム顕微装置(図3)
    • Kirkpatrick-Baez配置集光ミラー
    • 二次元試料走査・回転ステージ
    • 回折用イメージングプレート,蛍光分析用SDD

      図3X線マイクロビーム顕微装置

  • 磁気円二色性測定装置
    • ダイヤモンド移相板 (光学ハッチ内)
    • 磁場印加用試料ステージ

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連絡先

BL16XU連絡先
淡路直樹
(株)富士通研究所 基盤技術研究所
〒243-0197 厚木市森の里若宮10-1
Phone : 046-250-8150
FAX : 046-248-8812
e-mail : m1.png

Website

http://sunbeam.spring8.or.jp/

最終変更日 2016-11-30 15:28
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