BL16XU 概要

問い合わせ番号

INS-0000000456

ビームラインの概要

ＢＬ１６ＸＵビームラインは，１３企業グループで構成する「産業用専用ビームライン建設利用共同体」が，各社の材料・デバイス開発に資する目的でＢＬ１６Ｂ２ビームラインと併せて設置しました。主な活用分野は，（１）蛍光Ｘ線分析法によるＳｉウエハ表面などの極微量元素分析，（２）Ｘ線回折によるｎｍ厚さの薄膜構造解析，（３）１μｍ以下の集光Ｘ線ビームを用いた材料・デバイスの微小部分析とイメージング，（４）左右円偏光Ｘ線を用いたＸＭＣＤ測定による磁性材料の磁化解析等です。

研究分野

ＵＬＳＩ，磁気・光記録および画像デバイス用薄膜材料，二次電池，燃料電池，触媒材料，機能性材料，構造材料などの評価・解析

キーワード

測定手法
蛍光Ｘ線分析（斜入射法，直入射法），Ｘ線回折（in plane及びout of plane配置），Ｘ線反射率，微小角入射Ｘ線散乱，微小部分析及びイメージング（回折法，蛍光法，透過法），磁気円二色性及び磁気ヒステリシス測定
装置
蛍光Ｘ線分析装置，Ｘ線回折装置，Ｘ線マイクロビーム顕微装置，磁気円二色性測定装置

光源と光学系

Ｘ線ビームの特徴（試料位置）

Energy Range	4.5~40 keV
Energy Resolution	ΔE/E~ 10^-4
Photon Flux	~ 10¹² (normal) ~ 10¹⁰ (focusing)
Beam Size	< 1(H) × 1(V)(normal) < 1 μm(H)×1 μm(V)(focusing)

ビームライン全体配置図

BL16XUおよび BL16B2ビームライン俯瞰写真

実験ステーション

蛍光Ｘ線分析装置，Ｘ線回折装置，Ｘ線マイクロビーム顕微装置を上流側から順次配置。磁気円二色性測定装置はＸ線回折装置又はＸ線マイクロビーム顕微装置に組み込んで使用。

蛍光Ｘ線分析装置(図１)
- 試料室は真空 (~10 Pa)，ヘリウムガス置換可能
- 波長分散型検出器（アナライザ結晶），エネルギー分散型検出器（SDD, SSD)
  
  図１蛍光Ｘ線分析装置
Ｘ線回折装置(図２)
- 四軸回折計（Ｘ線回折，Ｘ線反射率，微小角入射Ｘ線散乱）
- NaI(Tl)シンチレーション検出器，YAP(Ce)シンチレーション検出器，CCDカメラ
  
  図２Ｘ線回折装置
Ｘ線マイクロビーム顕微装置(図３)
- Kirkpatrick-Baez配置集光ミラー
- 二次元試料走査・回転ステージ
- 回折用イメージングプレート，蛍光分析用SDD
  
  図３Ｘ線マイクロビーム顕微装置
磁気円二色性測定装置
- ダイヤモンド移相板 (光学ハッチ内）
- 磁場印加用試料ステージ