X-ray reflectmetory of lubricant
問い合わせ番号
SOL-0000000878
ビームライン
BL19B2（X線回折・散乱 II）
学術利用キーワード
| A. 試料 | 有機材料 |
|---|---|
| B. 試料詳細 | 高分子有機材料, 膜 |
| C. 手法 | Ｘ線弾性散乱 |
| D. 手法の詳細 | 反射、屈折 |
| E. 付加的測定条件 | 室温 |
| F. エネルギー領域 | Ｘ線（4～40 keV) |
| G. 目的・欲しい情報 | 構造解析 |
産業利用キーワード
| 階層1 | 記憶装置, 化学製品 |
|---|---|
| 階層2 | HD、MO |
| 階層3 | 被膜、潤滑剤 |
| 階層4 | 密度, 膜厚 |
| 階層5 | 反射率 |
分類
A80.10 エレクトロニクス, M10.50 反射率法
利用事例本文
In this solution, X-ray reflectometry was applied to lubricant to analyze its film thickness. X-ray reflectometry is powerful technique to characterize very thin film. These data reveal the fact that the thickness of the lubricant is determined to be 0.7 nm.
Observed reflectivities of lubricant on Si substrate (blue curve) and Si substrate (brown curve)
画像ファイルの出典
私信等、その他
詳細
広沢作成（試料は松村石油 坂根氏）
測定手法
X-ray reflectometry is performed by observing X-ray reflectivity from sample. X-ray reflectivity is affected by thickness of films, electron densities of films and substrate, and roughness at surface and interfaces. In this solution, thicknesses and electron densities of coated lubricant, and native oxide layer of Si substrate were obtained.
画像ファイルの出典
図なし
測定準備に必要なおおよその時間
1 シフト
測定装置
| 装置名 | 目的 | 性能 |
|---|---|---|
| Multi-axis diffractometer | diffraction | 4axes and 2axes |
参考文献
| 文献名 |
|---|
| S. Pershan&A. Nielsen., Phys. Rev. Lett. 52,759 (1984) |
関連する手法
アンケート
本ビームラインの主力装置を使っている
測定の難易度
初心者でもOK
データ解析の難易度
中程度
図に示した全てのデータを取るのにかかったシフト数
1シフト以下