BL22XU HAXPES測定装置
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INS-0000001602
HAXPES測定装置
硬Ｘ線光電子分光（HAXPES）は表面汚染の効果を低減することが可能であり、特に表面の清浄化が困難な試料や環境試料の分析に適している。本HAXPES装置では、シエンタオミクロン社製の電子エネルギーアナライザー（EW4000）を採用しており、本アナライザーの特徴である広取込み立体角（±30度）を生かしたハイスループット測定や、角度分解測定による深さ方向化学状態分析（ごく表面からバルク（数十nm）まで）を可能である。また、低速イオン・電子同時同軸照射式中和銃を備えており、不均質な絶縁物の測定が可能になっている。さらに、KBミラーにより集光したマイクロビームを用いることで、ミクロンレベルの化学状態分析を実現している。
図１ 硬X線光電子分光装置
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