フレネルゾーンプレートを用いた高エネルギー蛍光X線分析システム
問い合わせ番号
SOL-0000001579
ビームライン
BL37XU（分光分析）
学術利用キーワード
| A. 試料 | 計測法、装置に関する研究 |
|---|---|
| B. 試料詳細 | 生体組織、細胞系等 |
| C. 手法 | 蛍光Ｘ線 |
| D. 手法の詳細 | 微量元素分析 |
| E. 付加的測定条件 | |
| F. エネルギー領域 | Ｘ線（>40 keV） |
| G. 目的・欲しい情報 | 元素分布 |
産業利用キーワード
| 階層1 | 電子部品, 記憶装置, 環境 |
|---|---|
| 階層2 | |
| 階層3 | |
| 階層4 | 元素分布 |
| 階層5 |
分類
利用事例本文
本事例は，75.5keVというX線を使って，フレネルゾーンプレートにより，マイクロビームを生成させるものです。これにより，これまでになかったエネルギー領域でのマイクロビームを使った分析が期待されます。図に示すのは，金の2000メッシュの蛍光X線イメージングです。得られたマイクロビームの実際の大きさを評価するものですが，確かに3x5ミクロンのビームが得られることがわかりました。
図 75.5keVのX線によるマイクロビームのプロファイル
画像ファイルの出典
私信等、その他
詳細
測定手法
マイクロビーム生成時の条件はFEスリット0.2x0.2 mm，焦点距離1350 mmでした。図に示すのは，この時得られたビームプロファイルです。高いエネルギーでありながら，数ミクロンオーダーのマイクロビームを得ることができました。
図 フレネルゾーンプレートによるビームプロファイル
画像ファイルの出典
私信等、その他
詳細
測定準備に必要なおおよその時間
1 シフト
測定装置
参考文献
関連する手法
アンケート
SPring-8だからできた測定。他の施設では不可能もしくは難しい
最近2年以内に導入した装置を使った事例
測定の難易度
中程度
データ解析の難易度
熟練が必要
図に示した全てのデータを取るのにかかったシフト数
1シフト以下