太陽電池用ポリシリコン中に含まれる鉄不純物のマイクロビーム分析
問い合わせ番号
SOL-0000001580
ビームライン
BL37XU（分光分析）
学術利用キーワード
| A. 試料 | 無機材料 |
|---|---|
| B. 試料詳細 | 半導体, 結晶性固体 |
| C. 手法 | 蛍光Ｘ線 |
| D. 手法の詳細 | XANES, 微量元素分析 |
| E. 付加的測定条件 | マイクロビーム(1-10μｍ) |
| F. エネルギー領域 | Ｘ線（4～40 keV) |
| G. 目的・欲しい情報 | 化学状態, 元素分布 |
産業利用キーワード
| 階層1 | 半導体, 電子部品, 電池, 環境 |
|---|---|
| 階層2 | シリコン系半導体, 二次電池、太陽電池 |
| 階層3 | SOI,基板 |
| 階層4 | 局所構造, 価数, 化学状態, 元素分布 |
| 階層5 |
分類
A80.12 半導体・電子材料
利用事例本文
太陽電池に使われているポリシリコンの高効率化のためには，結晶欠陥と不純物との関連を調べなければなりません。本事例では，放射光マイクロビームを用いて，性能を支配すると言われている鉄に着目し，結晶欠陥との関連性を調べると共に，鉄の化学状態についての知見を得ることを目的としました。図に示したのは，鉄のイメージング結果と光学顕微鏡写真です。スリップなどの欠陥にダイレクトに鉄がたまっているだけではないことがわかりました。
図 ポリシリコン中の鉄のイメージング（左）と光学顕微鏡写真（右）
画像ファイルの出典
所内報
誌名
User Exp. Rep. 04A
ページ
170
測定手法
K-Bミラーによるマイクロビーム生成に関しては，事例：全反射ミラーを用いた高エネルギーX線マイクロビーム を参照して下さい。本事例ではX線エネルギー10keV，ビームサイズ1ミクロン程度で実験を行っています。
画像ファイルの出典
図なし
測定準備に必要なおおよその時間
6 時間
測定装置
参考文献
関連する手法
アンケート
本ビームラインの主力装置を使っている
最近2年以内に導入した装置を使った事例
測定の難易度
初心者でもOK
データ解析の難易度
中程度
図に示した全てのデータを取るのにかかったシフト数
4～9シフト