大型放射光施設 SPring-8

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黄砂1粒子の放射光-SEMによる評価

問い合わせ番号

SOL-0000001583

ビームライン

BL37XU(分光分析)

学術利用キーワード

A. 試料 無機材料
B. 試料詳細 環境関連物質
C. 手法 蛍光X線, 光電離、二次電子
D. 手法の詳細 微量元素分析, 二次電子、オージェ電子分光
E. 付加的測定条件
F. エネルギー領域 X線(4~40 keV)
G. 目的・欲しい情報 形態・巨視的構造, 元素分析(組成)

産業利用キーワード

階層1 環境
階層2 環境物質
階層3
階層4 元素分布
階層5

分類

利用事例本文

本事例ではSEMと放射光を組み合わせることにより,黄砂1粒子のような微細な試料の評価を可能とすることを目的とした。これにより,SEMで形態観察をした後,全く同じ試料に関して放射光蛍光X線分析が可能となる。図に示したのは,黄砂粒子の分析結果である。このように,従来法では,同一の試料を2つのプローブに対して用いるのは困難であったが,本法により十分可能であることを示した。

図 黄砂粒子のSEM-SR-XRF分析結果

画像ファイルの出典

所内報

誌名

User Exp. Rep. 04A

ページ

170

測定手法

SEMには低真空SEMを用いている。X線エネルギーは8keV,スリットにより50ミクロンに整形したX線をSEM室に導入した。

画像ファイルの出典

図なし

測定準備に必要なおおよその時間

1 シフト

測定装置

装置名 目的 性能
低真空SEM 形態観察,試料位置の特定

参考文献

関連する手法

アンケート

測定の難易度

中程度

データ解析の難易度

中程度

図に示した全てのデータを取るのにかかったシフト数

4~9シフト

最終変更日 2006-03-30 21:21