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BL46XU 概要

問い合わせ番号

INS-0000000556

ビームラインの概要

 本ビームラインは産業界による放射光利用の促進を主な目的とする、アンジュレータ光源を用いた産業利用ビームラインです。実験ハッチには多軸X線回折装置と硬X線光電子分光装置を常設しており、また、光電子分光装置を実験ハッチ内で退避させることで、小型の薄膜構造評価専用X線回折装置を設置することも可能です。
 多軸X線回折装置(HUBER製8軸回折計)では一般的なX線回折・散乱測定のみならず、微小角入射X線回折や反射率測定による薄膜、表面、界面の構造 評価、X線回折による残留歪み測定を行うことができます。また、周辺機器に多様な各種ユーティリティーを準備しており、さまざまなユーザーの分析ニーズに対応することができます。たとえば2次元ピ クセ ル検出器を併用することで、in-situ時分割X線回折実験の実施も可能です。
 硬X線光電子分光装置はSPring-8の高輝度放射光を利用することで硬X線(6~8keV)による光電子分光測定を行う技術で、硬X線により励起された脱出深度の深い高エネルギーの光電子を利用して、プローブ深さ20nmと非常に深い材料内部の電子状態分析を可能としています。

研究分野

  • X線回折測定およびX線反射率測定による薄膜試料の構造評価
  • 残留応力測定
  • 時分割X線回折実験
  • 硬X線光電子分光

キーワード

  • 分野
    X線回折・散乱、 薄膜 、表面、界面、残留歪み、硬X線光電子分光 
  • 装置
    多軸X線回折計(HUBER製8軸回折計)、硬X線光電子分光装置(Scienta Omicron製R-4000)

光源と光学系

 光源はSPring-8の標準型真空封止アンジュレータで、モノクロメータはSi111結晶を用いた傾斜配置直接水冷型二結晶モノクロメータを採用しています。カバーできる X 線のエネルギー範囲は6~35KeVです。高調波除去用のX線ミラーは2枚のRh蒸着ミラー(長さ70cm 横はね配置)を光学ハッチ内最下流に設置しています。これらミラーは湾曲機構を持っており、横方向の集光が可能です。また、モノクロメータとミラーの間にチャンネルカットモノクロメーター (Si111結晶)を設置しており、硬X線光電子分光測定の際にはこれを用いて狭いエネルギー幅の入射X線を確保しています。

ビームラインの概念図

  • X-rays at Sample

     

    Energy Range 6 ~ 35 keV
    Energy Resolution ΔE/E ~10-4
    Photon Flux ~1013photon/s
    Beam Size <0.5(H) × 0.5(V)

実験ステーション

詳細情報

BL46XUに関する詳細情報はJASRI産業利用推進室のページで参照できます。
JASRI産業利用推進室BL46XUのホームページ

文献検索 

BL46XU PUBLICATION SEARCH

 

連絡先

(注)e-mailアドレスは@マーク以下を省略していますので、アカウントの後に@spring8.or.jpを付けてください。

小金澤 智之
(公財)高輝度光科学研究センター(JASRI)
〒679-5198 兵庫県佐用郡佐用町光都1丁目1-1
Phone : 0791-58-0924
FAX : 0791-58-0830
e-mail : koganeza

安野 聡
(公財)高輝度光科学研究センター(JASRI)
〒679-5198 兵庫県佐用郡佐用町光都1丁目1-1
Phone : 0791-58-0924
FAX : 0791-58-0830
e-mail : yasuno

最終変更日 2017-04-28 14:16
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