SPring-8, the large synchrotron radiation facility

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BL46XU 薄膜構造評価専用X線回折装置

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INS-0000001476

薄膜構造評価専用X線回折装置

 この薄膜構造評価専用X線回折装置は実験室系装置として普及しているリガク製のATX-Gです。微小角入射X線回折実験による薄膜構造評価に特化した構成 になっており、測定は試料表面に対してin-plane測定、out of plane測定が可能です。回折計の駆動軸として、試料周りはω軸(分解能:0.001deg/step回転範囲:-10~190°)、試料面鉛直軸 周りのφ軸(分解能:0.001deg/step回転範囲:-170~185°)、検出器アームは、2θ軸(分解能:0.002deg/step回転範 囲:-3~158°)、2θχ軸(分解能:0.002deg/step回転範囲:-3~150°)を備えています。試料ステージは試料を鉛直方向に設置す るレイアウトになっており、最大100mmのウェハが保持できます。試料位置調整軸として直交スイベル,x,y移動を備えており、これと連動した自動半割 調整プログラムによる迅速なサンプルアライメントが可能です。また多軸回折計と同様に直径約200mm、厚み約50μmのカプトンドームを用いたHeガス 置換型サンプルホルダーを用意しており、試料周りの空気散乱によるバックグラウンドノイズ低減に効果的です。受光側にはソーラスリット、差し込み交換式の ダブルスリット、Si(220)アナライザーを準備しており、検出器はシンチレーションカウンタを用いています。

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薄膜構造評価専用X線回折装置(ATX-G)

 

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