High-resolution x-ray imaging microtomography
問い合わせ番号
SOL-0000000933
ビームライン
BL47XU（マイクロCT）
学術利用キーワード
| A. 試料 | 無機材料, 有機材料, 生物・医学, 計測法、装置に関する研究 |
|---|---|
| B. 試料詳細 | 金属・合金, 半導体, 絶縁体・セラミックス, 非晶質、ガラス, 低分子有機材料, 高分子有機材料, 生体（in vitro）, 生体組織、細胞系等, 生体材料, 生体高分子、非結晶, 医薬品, 環境関連物質 |
| C. 手法 | 吸収、及びその二次過程 |
| D. 手法の詳細 | |
| E. 付加的測定条件 | 三次元画像計測（ＣＴ等）, 高分解能画像計測（顕微鏡） |
| F. エネルギー領域 | Ｘ線（4～40 keV) |
| G. 目的・欲しい情報 | 形態・巨視的構造 |
産業利用キーワード
| 階層1 | 半導体, 記憶装置, 電池, 機械, 金属, 建設, 環境, 製薬, 工業材料 |
|---|---|
| 階層2 | シリコン系半導体, 化合物半導体, 製剤, 繊維, コンクリート |
| 階層3 | 配線, 電極, 薬物, 錠剤 |
| 階層4 | 密度, 亀裂、空隙, 内部構造, 形態 |
| 階層5 | イメージング |
分類
M60.20 Ｘ線ＣＴ
利用事例本文
X-ray imaging microtomography is a high spatial resolution CT system. Using this technique, one can measure a three-dimensional image of sample with a spatial resolution better than 1 micrometer that has been impossible with conventional CT technique. In this system, x-ray image is enlarged with a lens for x-rays (called as Fresnel zone plate) like as visible light microscope. Diameter of samples with smaller than 100 micron can be measured with this technique.
The figure shows three-dimensional CT images measured for a fossil of diatom. These data reveal the fact that fine structure with smaller than 1 micrometer are clearly observed.
Figure: Three-dimensional CT images of a fossil of diatom. left: whole image, right: inner structure shown by cropping a part of sample by data processing.
[ A. Takeuchi, K. Uesugi, H. Takano and Y. Suzuki, Review of Scientific Instruments 73, 4246-4249 (2002), Fig. 5,
©2002 American Institute of Physics ]
画像ファイルの出典
原著論文/解説記事
誌名
Rev. Sci. Instrum 73, 4246 (2002)
図番号
5
測定手法
In this experiment, in order to achieve high spatial resolution, x-ray image is enlarged with a lens for x-rays (called as Fresnel zone plate) like as visible light microscope. That will enable the three-dimensional imaging for 100 nm order structures.
Schematic diagram of x-ray imaging microtomography setup.
画像ファイルの出典
私信等、その他
詳細
自作
測定準備に必要なおおよその時間
2 日
測定装置
| 装置名 | 目的 | 性能 |
|---|---|---|
| Fresnel zone plate | enlarged imaging of x-ray | 100 micron field of view |
| Beam monitor 2 | optical alignment, data acquisition | 4.3 micron pixel size |
| high-accuracy rotation stage | sample rotation | smaller than 0.2 micron wobbring accuracy |
参考文献
| 文献名 |
|---|
| A. Takeuchi et. al., Rev. Sci. Instrum., 73, 4246-4249 (2002). |
関連する手法
X-ray CT
アンケート
SPring-8だからできた測定。他の施設では不可能もしくは難しい
本ビームラインの主力装置を使っている
測定の難易度
中程度
データ解析の難易度
中程度
図に示した全てのデータを取るのにかかったシフト数
1シフト以下