大型放射光施設 SPring-8

問い合わせ番号

INS-0000000454

ビームラインの概要

  BL16B2は偏向電磁石を光源としたビームラインである。ビームラインは光学ハッチおよび実験ハッチで構成されている。光学ハッチには二結晶分光器、スリットおよびミラーが、実験ハッチにはハイスループットX線トポグラフィ装置が設置されている。ハイスループットX線トポグラフィ装置には直径300 mmのウェハを設置可能な試料台、ウェハ面内を±100 mm走査可能なXYステージ、およびDIFRAS検出器が2台搭載されており、原子核乾板と同等以上の画質の画像を現像作業なしで提供することが可能である。

研究分野

 半導体・電子材料、結晶成長

キーワード

• 研究分野
  X線トポグラフィ、単結晶、格子欠陥、転位
• 装置
  DIFRAS検出器、回折計

光源と光学系

• サンプル位置でのX線

  エネルギー範囲	7 ∼ 37 keV Si(111)
  エネルギー分解能	ΔE/E ∼ 10-4
  光子数	∼ 1010 photons/s
  最大ビームサイズ	50mm(H) × 5 mm(V)

実験ステーション

ハイスループットX線トポグラフィ装置

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連絡先

梶原 堅太郎
（公財）高輝度光科学研究センター（JASRI）
〒679-5148　兵庫県佐用郡佐用町光都1丁目1-1
Phone : 050-3496-9195
e-mail : kajiwaraspring8.or.jp