潤滑剤のX線反射率測定
Inquiry number
SOL-0000001400
Beamline
BL19B2 (X-ray Diffraction and Scattering II)
Scientific keywords
| A. Sample category | organic material |
|---|---|
| B. Sample category (detail) | macromolecule, membrane |
| C. Technique | X-ray elastic scattering |
| D. Technique (detail) | reflection, refraction |
| E. Particular condition | room temperature |
| F. Photon energy | X-ray (4-40 keV) |
| G. Target information | structure analysis |
Industrial keywords
| level 1---Application area | storage device, Chemical product |
|---|---|
| level 2---Target | HD,MO |
| level 3---Target (detail) | film, lubricant |
| level 4---Obtainable information | density, film thickness |
| level 5---Technique | reflectometry |
Classification
A80.10 electronics, M10.50 reflectometry
Body text
本事例ではハードデイスク用潤滑剤についてX線反射率測定を行い、潤滑剤の膜厚を解析しました。X線反射率測定は、従来の方法では測定が困難であった極く薄い膜でも精度よく測定できる手法です。この例では高輝度で指向性が高い放射光を用いることにより約10桁のダイナミックレンジで測定できました。このデータから、潤滑剤の厚さが約0.7nmであることがが明らかになりました。
Si基板（茶色）及び潤滑剤を塗布した基板（青色）からのX線反射率の測定結果。縦軸の単位は対数
Source of the figure
Private communication/others
Description
広沢作成（試料は松村石油 坂根氏）
Technique
X線反射率測定では、膜の表面及び基板界面で反射されるX線の入射角依存性を測定することによって膜厚、膜密度及び表面や界面の粗さについての知見が得られます。この例では、基板に塗布した潤滑剤ばかりでなく、塗布前に基板表面に形成された酸化膜の密度や厚さが得られます。
Source of the figure
No figure
Required time for experimental setup
1 shift(s)
Instruments
| Instrument | Purpose | Performance |
|---|---|---|
| 多軸回折計 | 散乱、回折の測定 | ４軸＋２軸 |
References
| Document name |
|---|
| S. Pershan&A. Nielsen., Phys. Rev. Lett. 52,759 (1984) |
Related experimental techniques
エリプソメトリ、赤外吸収分光
Questionnaire
This solution is an application of a main instrument of the beamline.
Ease of measurement
Easy
Ease of analysis
Middle
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