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BL47XU 実験ハッチ2(EH2)

問い合わせ番号

INS-0000001379

実験ハッチ2内には、上流側にマイクロトモグラフィー実験装置、下流側にマイクロビーム実験装置が設置されています。さらにこれらの装置に於いては、ステッピングモーター制御の精密XYZステージ、精密ゴニオメーター、4象限スリット、シリコンドリフト検出器(SDD)、純Ge半導体検出器、NaIシンチレーションカウンタ、イオンチェンバー、高分解能二次元検出器(間接型CCDカメラ:画素サイズ6ミクロン、及び0.5ミクロン)を組み合わせて使用することが出来ます。
なお、現在実験ハッチ2の下流側には通常硬X線光電子分光装置が置かれており、マイクロビームと走査型顕微鏡の実験を行う場合には、装置を実家ハッチ1に設置して実験を行っています。

  • マイクロトモグラフィー実験装置

    実験ハッチ2の上流側のスペースには通常図1に示す高分解能マイクロトモグラフィー装置が設置されています。本装置では、空気浮上軸受けを用いた精密回転ステージにより軸ぶれ0.2ミクロン以下を実現し、空間分解能1ミクロンを達成した可視光変換型画像検出器(ビームモニタ3型)と組み合わせることによって、 空間分解能1ミクロンの三次元CT画像計測を可能にしました。分解能1ミクロンの条件での最大視野は1mm、一回のCT像計測に要する時間は2〜3時間です。

  • マイクロビーム実験装置(走査型顕微鏡装置)

    図2にマイクロビーム実験装置を示します。フレネルゾーンプレートを集光光学素子として用いることにより、X線エネルギー7keV 〜15keVの領域でサブミクロン分解能での実験がルーチンワークで可能です。この場合、顕微鏡としての焦点深度は約1mmです。なお、この条件でのマイクロビームのフラックスはおおよそ 109 photons/s です。蛍光X線分光が必要な場合、シリコンドリフト検出器 (SDD) 及びGe半導体検出器が利用できます。i

    図1.マイクロトモグラフィー実験装置
    図2.マイクロビーム/走査型顕微鏡実験装置
最終変更日 2022-05-09 15:51
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