BL47XU マイクロビーム実験例
問い合わせ番号
INS-0000001383
図１及び図２にＸ千マイクロビームのプローブサイズを測定した結果を示します。Ｘ線エネルギーは8keV、集光光学素子はNTT-ATで電子線リソグラフィーの方法で作成されたフレネルゾーンプレートです。ゾーンプレートの材質はタンタル（厚さ1ミクロン）、最外線幅250 nm 、8keVでの焦点距離は160 mmです。
図３に分解能評価用テストパターンを試料として測定した走査型顕微鏡の実験例を示します。図３の右図では走査型顕微鏡の画像でのスキャンピッチを62.5nmにして測定しており、200 nm線幅のパターンまで明瞭に観察できています。
図１．集光ビームサイズ測定結果（垂直方向）
図２．集光ビームサイズ測定結果（水平方向）
図３．走査型顕微鏡実験結果（試料は分解能評価用テストパターン）
最終変更日
2022-05-09 15:51