5 基盤技術開発
5.1 ナノ構造イメージング等
走査型硬X線顕微鏡によるFe-吸収端における元素別磁気イメージング ゲート絶縁膜/シリコン界面遷移層の検出2,160KB
高垣 昌史       高輝度光科学研究センター
表面および強磁性、反強磁性金属との界面におけるNiO反強磁性磁区ドメイン構造の観察 ゲート絶縁膜/シリコン界面遷移層の検出1,668KB
奥田 太一       東京大学 物性研究所
光電子顕微鏡を用いた界面ナノ構造のイメージング ゲート絶縁膜/シリコン界面遷移層の検出2,207KB
小野 寛大       高エネルギー加速器研究機構
K-Bミラーを用いたマイクロビーム蛍光X線分析システムの開発 ゲート絶縁膜/シリコン界面遷移層の検出2,334KB
寺田 靖子       高輝度光科学研究センター
SPELEEMを用いたナノ構造材料の観察と
              新しい収差補正法を用いた高分解能光電子顕微鏡の予備実験
ゲート絶縁膜/シリコン界面遷移層の検出1,287KB
越川 孝範       大阪電気通信大学 エレクトロニクス基礎研究所
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