5 基盤技術開発
5.1 ナノ構造イメージング等
焦点位置変調球面収差除去法による光電子顕微鏡の空間分解能向上 ゲート絶縁膜/シリコン界面遷移層の検出1,862KB
越川 孝範       大阪電気通信大学 エレクトロニクス基礎研究所
5.2 時間分解計測技術
サブナノ秒時間分解XMCDの開発と磁性体の磁化ダイナミクスの研究 ゲート絶縁膜/シリコン界面遷移層の検出3,750KB
小野 寛太       高エネルギー加速器研究機構 物質構造科学研究所
5.3 共鳴非弾性散乱
CeNi1-xCoxSn化合物のLmedgeでのX線共鳴非弾性散乱 ゲート絶縁膜/シリコン界面遷移層の検出1,820KB
山岡 人志       理化学研究所
5.4 元素変換
X線マイクロビームを用いたPd多層膜表面微量元素分布と金属組織の相関把握 ゲート絶縁膜/シリコン界面遷移層の検出2,180KB
岩村 康弘       三菱重工業株式会社
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