大型放射光施設 SPring-8

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SPring-8 Seminar (第165回)

副題/演題 自由電子レーザー施設 FLASHの極端紫外波長領域での運転;自由電子レーザーの利用可能:性極端紫外波長(EUV)でのリソグラフィ
開催期間 2007年03月22日
開催場所 上坪講堂
形式 レクチャー(講演)
分野 ビームライン・装置(加速器・光源を含む)
概要

日時:2007年3月22日 午後2時

場所:SPring-8中央管理棟講堂

講師:Dr. E. L. Saldin and Dr. E. Schneidmiller

所属:DESY, FLASH, Germany

講演タイトル:
 * 自由電子レーザー施設 FLASHの極端紫外波長領域での運転 by Dr. E. Schneidmiller
 * 自由電子レーザーの利用可能:性極端紫外波長(EUV)でのリソグラフィ by Dr. Dr. Saldi

担当者:田中均 (PHS 3513)

問い合わせ先 SPring-8セミナー事務局 垣口 伸二、笠原 尚美
0791-58-0839
0791-58-0988
spring8_seminar@spring8.or.jp
最終変更日 2009-05-27 12:36