大型放射光施設 SPring-8

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SPring-8研修会 多軸X線回折装置を用いた薄膜X線回折測定研修会

主題/内容 多軸X線回折装置を用いた薄膜X線回折測定研修会
開催期間 2022年02月07日 (月) 09時00分から20時00分まで
開催場所 講義・測定場所:蓄積リング棟 BL19B2
主催 (公財)高輝度光科学研究センター(JASRI)
形式 普及・啓蒙(研修会)
概要

 SPring-8産業利用ビームラインBL19B2において課題を検討中かつ利用経験の無い方を対象とする薄膜X線回折測定の研修会を行います。今回はHUBER社多軸X線回折計および0次元検出器を用いた薄膜X線回折測定を対象とします。
 本研修会では、講義と実習を通して多軸X線回折装置を用いた薄膜X線散乱測定の実験的特長と利用に際し留意すべき点をユーザーに学んで頂くことを目的とします。これにより、今後の課題提案に資することを目指します。実習では、参加者が持参した薄膜試料に対してX線回折測定を行います。

日時:2022年2月7日(月)9:00~20:00(測定実習完了次第終了)

会場:大型放射光施設 SPring-8 所在地:兵庫県佐用郡佐用町光都1-1-1
講義、実習(測定)場所: 蓄積リング棟 BL19B2
アクセス:http://www.spring8.or.jp/ja/about_us/access/access_chart
キャンパスマップ:http://www.spring8.or.jp/ja/about_us/access/campus_map

プログラム
時間 内容 詳細
9:00-10:00 ユーザー手続き
10:00-11:00  講義 BL19B2の光学系と多軸回折計を用いた実験について
11:00-12:00  実習 BL19B2の光学系、実験装置の見学
12:00-13:00 昼食・休憩
13:00- 実習 持込試料の測定実習
※使用装置、実験条件
X線エネルギー: 12.4 keV(波長:1.0Å)
回折計:HUBER社多軸X線回折計
検出器:LaBr3シンチレーション検出器

 

対象者
SPring-8の利用経験がなく、薄膜を対象とするX線回折測定で2022A期以降に課題申請を検討中の方。X線回折測定に関して比較的経験が浅い初中級者を対象とします。

定員:3グループ、1グループ2名以内

申込み方法
参加申込は締め切りました。

申込み締め切り
2022年1月7日(金) 正午 
申込者多数の場合は、締切日以前に応募を終了することがあります。
また、この場合、放射光利用の経験が無い方を優先させて頂き、その他測定試料の種類等を勘案して参加者を決定致しますので、必ずしも先着順にならないことがあります。予めご了承ください。

個別実習で測定対象となる試料
<試料の制限は次の通り>
・対象試料と評価
 シリコン単結晶基板・酸化物単結晶基板・ガラス基板など平坦な基板上に成膜された薄膜。膜厚は数nm~1µm程度まで。
 結晶性・配向性・格子定数決定・結晶構造決定(同定)・多形混入・エピタキシャル方位関係評価などを評価対象とします。
・試料数(測定内容に依存しますので目安とお考えください)
 面内配向が有る試料 1~2試料まで
 面内配向が無い試料 3試料まで
・試料サイズ
 5 mm~15 mm角、厚みは5 mm以内。
・安全、法規上問題のないもの
・汚染、破損、紛失しても構わないもの
※測定は室温・大気中での測定に限ります。その他、加熱などの環境制御も行いません。
※試料について、申込書に正確にご記載下さい。申込者多数の場合の判断基準の一つにします。
※個別実習で測定したデータは、SPring-8実験データ配送サービス(https://filetransfer.spring8.or.jp/send/)を用いて送付いたします。

その他の注意事項
・本研修会の参加には SPring-8 ユーザー登録、放射線作業従事者登録などの諸手続きが完了されていることが必要です。
・個別実習で測定するサンプルについては、安全管理室審査の手続きが必要となります。
※参加受付後、手続きに関する案内をします。
・参加者への連絡などは全てe-mailで行います。参加の手続には書類のダウンロードが必要です。インターネットに接続できる環境をご用意ください。
・研修会への参加は無料です。
・申込者多数の場合は、締切日以前に募集を終了することがあります。
・申込者多数の場合の参加者調整は、当方での調整に一任願います。

問合せ先
実習担当:(内容等について)
公益財団法人高輝度光科学研究センター (JASRI)
産業利用・産学連携推進室
担当:渡辺 剛 e-mail : t5511001atspring8.or.jp
Rosantha Kumara e-mail:rosantha@spring8.or.jp
事務局:(手続き等について)
公益財団法人高輝度光科学研究センター (JASRI)
利用推進部 普及情報課
担当:西村 
Tel:0791-58-2785 Fax:0791-58-2786
e-mail : jasri-event@spring8.or.jp

最終変更日 2022-01-07 11:13