大型放射光施設 SPring-8

■ 日　時：  2006年2月15日（水）　9:00－17:20

■ プログラム（Program）

9:00-9:05  
 挨拶
 木村滋（JASRI/SPring-8）

9:05-9:10  
 「ビームラインBL13XU現状の紹介：ビーム安定化、実験ハッチ１でのマイクロビーム集光光学素子のテストなど」
「Ongoing updates : x-ray beam stabilization, fast detector, and compound reflactive lens system at EH1」
坂田（Sakata）修身（JASRI/SPring-8）

9:10-9:20  
 「実験ハッチ３でのマイクロ回折装置の立上げ状況」
「Current status of microdiffraction system at EH3」
 木村（Kimura）滋（JASRI/SPring-8）

9:20-9:30  
 「放射光X線回折測定に広ダイナミックレンジ高速検出器を利用して」
「A wide dynamic-range fast detector available for synchrotron x-ray diffraction measurements」
 岡田（Okada）京子（JASRI/SPring-8）

9:30-9:50  
 「GIXDによる自己組織化膜の構造解析」
「Fine structure analysis for the self-assembled monolayers with grazing Incidence x-ray diffractions」
 加藤（Kato）拓司（株式会社リコー）

9:50-10:10  
 「温度可変微小角入射Ｘ線回折測定による長鎖アルキルシラン単分子膜の二次元相転移評価」
「Analysis of two-dimensional phase transition behaviors of organosilane monolayers with long alkyl-chains based on temperature dependent in-plane grazing incidence X-ray diffraction」
 古賀（Koga）智之（九州大学先導物質化学研究所）

10:10-10:30  
 「先端機能性シリコンウェーハの歪精密測定」
「Precise measurement of strain in advanced functional silicon wafers」
 小椋（Ogura）厚志（明治大学理工学部）

10:30-10:45  
 休憩

10:45-11:05  
 「異常分散X線回折によるSGOI基板の歪み・組成解析」
「Determination of strain and composition of SGOI films using anomalous x-ray diffraction」
 川村（Kawamura）朋晃（NTT物性科学基礎研究所）

11:05-11:25  
 「GaNAs/GaAs半導体超格子の構造・組成評価」
「Structural analysis and composition estimation of GaNAs/GaAs superlattices」
 宮川（Miyagawa）勇人（香川大学工学部）

11:25-11:45  
 「微小領域逆格子マッピングによるGe/Siヘテロ構造の局所的歪揺らぎの検出」
「Detection of local strain distribution in Ge/Si hetero structures using micrometer-scaled area reciprocal space mapping」
 酒井（Sakai）朗（名古屋大学大学院工学研究科）

11:45-12:05  
 「その場X線回折によるGe/Si(001)ドット形成過程の観測」
「Observation of the Ge/Si(001) dot-formation process by in situ X-ray diffraction」
 花田（Hanada）貴（東北大学金属材料研究所）

12:05-12:25  
 「X-ray diffraction studies of CaF2 initial stages growth on Si(001) at high temperatures」
 N. Sokolov (Ioffe Institute, St. Petersburg, Russia)

12:25-13:25  
 昼休み

13:25-13:45  
 「光子計数型2次元ピクセル検出器を用いた新しいX線回折実験手法」
「A new XRD method with a single photon counting 2-d pixel detector」
 豊川（Toyokawa）秀訓（JASRI/SPring-8）

13:45-14:05  
 「結晶表面近傍の乱れに伴う散漫散乱」
「Diffuse scattering due to disordering in the immediate vicinity of crystal surface」
 原田（Harada）仁平（名古屋大学名誉教授）

14:05-14:25  
 「フラットおよびステップ表面上における水モノマーの吸着構造」
「Adsorption structures of water monomer adsorbed on flat and stepped surfaces」
 中村（Nakamura）将志（千葉大学工学部）

14:25-14:45  
 「透過型X線反射率法を用いたゲル／固体界面の観察」
「An observation on gel/solid interface by transmitted Xray reflectivity」
 高橋（Takahashi）功（関西学院大学理工学部）

14:45-15:05  
 「ZnO/MgO/c-Al₂O₃界面構造評価」
「Structural characterization of ZnO/MgO/c-Al₂O₃ structure」
 嶺岸（Minegishi）耕（東北大学金属材料研究所）

15:05-15:20  
 「ZnO単結晶薄膜の初期成長におけるMgOエピタキシャルバッファ層の効果」
「Effects of a MgO buffer layer on the initial growth of a ZnO epitaxial thin film」
 隅谷（Sumitani）和嗣（JASRI/SPring-8）

15:20-15:35  
 休憩

15:35-15:55  
 「室温青色発光を示すSrTiO₃における格子歪み検出」
「Structural distortion of SrTiO₃ showing blue luminescence at room temperature」
 菅（Kan）大介（京都大学化学研究所元素科学国際研究センター）

15:55-16:15  
 「カーボンナノチューブ配線に向けたナノチューブ/金属電極間の界面構造の研究」
「Study of the interface structures between carbon nanotubes and metal electrodes for LSI interconnects」
 近藤（Kondo）大雄（株式会社富士通研究所ナノテクノロジー研究センター）

16:15-16:35  
 「In-Plane SAXSによるHf-silicate膜の相分離の評価」
「Evaluation of phase separation of Hf-silicate film by in-plane SAXS」
 佐藤（Satou）暢高（東芝ナノアナリシス）

16:35-16:55  
 「High-k/SiO₂/Si構造における酸素の拡散と反応」
「Diffusion and reaction of oxygen in high-k/SiO₂/Si structures」
 志村（Shimura）考功（大阪大学大学院工学研究科）

16:55-17:10  
 「迅速X線回折法による電極表面構造の観測」
「Observation of an Au electrode surface studied by the obvious-at-a-glance diffraction method」
 坂田（Sakata）修身（JASRI/SPring-8）

17:10-17:25  
 おわりに：お知らせ（利用懇談会の研究会組織）、今後のBLの方向性の議論（要望など）
 坂田（Sakata）修身（JASRI/SPring-8）